無塵室有很多設(shè)備以維持室內(nèi)的潔凈。其中包含F(xiàn)FU、空氣除濕機、溫濕度計、交換倉、稀奇到關(guān)于集塵器、靜電風(fēng)扇等設(shè)備。我們對無塵室微粒子濃度進行控制，要通過人、機、料進無塵室不攜入微粒子；無塵室內(nèi)動態(tài)環(huán)境下機、料的不發(fā)生控制等方面來把控。下文是關(guān)于無塵室的設(shè)備，以及如何把控微粒子濃度。

一、無塵室包含哪些設(shè)備

1、FFU可模塊化連接使用，使得FFU廣泛應(yīng)用于無塵室、無塵操作臺、無塵生產(chǎn)線、組裝式無塵室和局部百級等應(yīng)用場合。FFU設(shè)有初、高效兩級過濾網(wǎng)。風(fēng)機從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風(fēng)面0.45M/S±20%的風(fēng)速勻速送出。

2、它為不同尺寸大小，不同潔凈度等級的潔凈室、微環(huán)境提供高質(zhì)量的潔凈空氣。在新建潔凈室、潔凈廠房式改造翻新中，即可提高潔凈度級別，降低噪音和振動，也可大大降低造價，安裝維護方便，是潔凈環(huán)境的理想部件。

2、自動化與無塵化

（1）設(shè)立自動化傳送系統(tǒng)，可減少職員方面所帶來的污染，唯用度相當昂貴，須詳加評估。

（2）建立管制項目如進進無塵室職員的資格限定，無塵室作業(yè)職員作業(yè)規(guī)則，無塵室治理規(guī)則等。

3、空氣除濕機

除濕機又稱為抽濕機，一般可分為家用除濕機和工業(yè)除濕機兩大類 ，屬于制冷空調(diào)家庭中的一個小成員。通常，除濕機由壓縮機、熱交換器、風(fēng)扇、盛水器、機殼及控制器組成，其工作原理是:由風(fēng)扇將潮濕空=氣抽入機內(nèi)，通過熱交換器，此時空氣中的水份冷凝成水珠，變成干燥的空氣排出機外，如此循環(huán)使室內(nèi)濕度降低。

4、溫濕度計

用來測定環(huán)境的溫度及濕度，以確定產(chǎn)品生產(chǎn)或倉儲的環(huán)境條件。也應(yīng)用于人們?nèi)粘Ｉ?。?yīng)用較為廣泛。當空氣中有很多水氣時， 我們說空氣是潮濕的。

5、交換倉

室內(nèi)物品與室外物品交換放置的地方，它里面有恒定的氣流，可以清除放入部品表面的灰塵異物。

6、吸氣導(dǎo)管與集塵器

主要用于吸取生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的灰塵異物，收集并保存異物，方便分析異物成分，有效的去控制無塵室內(nèi)異物的進入渠道。

7、靜電風(fēng)扇

通過靜電風(fēng)扇可以吹干凈長時間放置的部品表面上的灰塵異物。

8、隱形膠帶

可以粘取部品表面的異物并且不會留下任何粘合劑。

9、進口特殊橡皮泥.

在生產(chǎn)中用螺絲刀打螺絲，螺絲刀頭上會產(chǎn)生鐵屑，粘取在橡皮泥上就可以有效的使螺絲刀頭上保持清潔。

二、如何對無塵室微粒子濃度進行控制

1、 不攜入 :人、機、料進無塵室不攜入微粒子

(1)進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等， 再通過風(fēng)淋室吹淋，高速干凈的氣流可除去附在衣服表面的粒子，吹淋完畢才能進入無塵室。

(2)機器、材料進無塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)貨淋室吹淋或風(fēng)淋傳遞窗吹淋后才能進入無塵室。

(3)無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有空氣過濾器的排氣用小型過濾單元于腰間。

2、不發(fā)生 :無塵室內(nèi)動態(tài)環(huán)境下機、料的不發(fā)生控制

在控制最大污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時，也應(yīng)控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時，所產(chǎn)生 的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到最小限度應(yīng)采取以下對策：

(1)減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài);

(2)采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì);

(3)采用發(fā)塵小的潤滑油;

3、不儲備

（1）現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及機臺的掣動(動態(tài))，無塵室要想達到動態(tài)潔凈級別，因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。

（2）控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進 行除電。

4、排除/除去

（1）在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。

（2）由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是絕對理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對策。

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